错位相移技术研究

被引：4

作者：

史红民

陆耀东

方竟

机构：

[1] 北京光电技术研究所

来源：

基金：

北京市自然科学基金;

关键词：

错位；相移；错位相移；错位电子散斑干涉仪;

D O I：

10.16136/j.joel.1998.02.014

中图分类号：

O438 [信息光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

本文在充分总结错位技术与相移技术的基础上，提出了一种基于偏振的错位技术和相移技术，并将二者结合起来，实现了错位与相移的结合，制作出了错位相移器。最后将错位相移器应用于集成电路硅片薄膜应力分布测试仪及错位电子散斑干涉仪之中。

引用

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