单晶硅上电沉积Ni-P非晶薄膜及其表征

被引:1
作者
张国庆
姚素薇
郭鹤桐
何菲
龚正烈
机构
[1] 天津大学
[2] 天津理工学院
关键词
硅,Ni-P合金,电沉积,非晶;
D O I
暂无
中图分类号
TQ153.2 [合金的电镀];
学科分类号
摘要
采用控制电位沉积法在p-Si晶面上制备了Ni-P非晶薄膜.并对其结构、组成用XRD,DSC,XPS进行了表征.结果表明,Ni-P合金在沉积前存在一个诱导期,合金由活性不同的两种组份构成,改变阴极电位对合金组成、结构影响不大,所制备的薄膜含磷量约为16.28%,具有非晶态结构
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[1]  
半导体光电化学.[M].(苏)古列维奇(Гуревнч;Ю.Я.);(苏)波利斯科夫(Плесков;Ю.В.)著;彭瑞伍译;.科学出版社.1989,