衍射光学元件制作技术及未来展望

被引：5

作者：

任延同

付永启

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所

来源：

光学精密工程 | 1997年 / 02期

关键词：

衍射光学元件；二元光学元件；制造工艺;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

回顾了衍射光学元件（ＤＯＥ）制作技术的发展过程，介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。

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