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滚转角误差的光学精密测量技术研究
被引:22
作者
:
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机构:
马军山
王向朝
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机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海
王向朝
方祖捷
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机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海
方祖捷
机构
:
[1]
中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海
来源
:
光学学报
|
2000年
/ 10期
关键词
:
滚转角误差测量;
角度传感器;
误差分离;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
:
080202 ;
摘要
:
提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法 ,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来。实验结果表明 ,滚转角误差的测量重复性精度可达 0 .0 5",这个值是由测量系统稳定性决定的。
引用
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页码:1403 / 1406
页数:4
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[1]
Self -calibration of precision angle sensor and polygon mirror. Kiyono S,Zhang Shizhou,Uda Y. Measurement . 1997
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Self -calibration of precision angle sensor and polygon mirror. Kiyono S,Zhang Shizhou,Uda Y. Measurement . 1997
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