滚转角误差的光学精密测量技术研究

被引:22
作者
马军山
王向朝
方祖捷
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海
关键词
滚转角误差测量; 角度传感器; 误差分离;
D O I
暂无
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法 ,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来。实验结果表明 ,滚转角误差的测量重复性精度可达 0 .0 5",这个值是由测量系统稳定性决定的。
引用
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共 1 条
[1]  
Self -calibration of precision angle sensor and polygon mirror. Kiyono S,Zhang Shizhou,Uda Y. Measurement . 1997