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溶胶一凝胶工艺对PZT铁电薄膜结构的影响
被引：7
作者：
何恩培，刘梅冬，卢春如
机构：
[1] 华中理工大学固体电子学系
来源：
关键词：
溶胶一凝胶工艺，铁电薄膜，锆钛酸铅;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
本文阐述了用溶胶一凝胶法制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）铁电薄膜的工艺参数对薄膜结构的影响。实验表明，采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的ＰＺＴ铁电薄膜。
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