共 2 条
冷等离子体固体表面改性的物理化学机理
被引：1
作者：
谭凯
机构：
[1] 哈尔滨学院物理与电子工程系黑龙江哈尔滨
来源：
关键词：
冷等离子体;
表面改性;
D O I：
暂无
中图分类号：
O539 [等离子体物理的应用];
学科分类号：
摘要：
冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂。本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存在的问题。
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