激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究

被引：7

作者：

杜春雷

林大键

冯伯儒

孙国良

徐平

郭履容

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川大学信息光学研究所

来源：

关键词：

激光直接光刻，微透镜列阵，衍射光学元件;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN248 [激光器];

学科分类号：

摘要：

介绍了利用激光直接光刻技术制作８相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器中得到了应用。

引用

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