位置敏感探测器(PSD)的研究进展

被引：19

作者：

陈冬严

林斌

陈钰清

机构：

[1] 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心

来源：

光学仪器 | 2004年 / 04期

关键词：

位置敏感探测器(PSD); 氢化非晶硅; 阵列; 综述;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD。并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望。

引用

页码：68 / 71

页数：4

共 4 条

[1] 哈特曼-夏克传感器的泽尼克模式波前复原误差 [J].

李新阳 ;

姜文汉 .

光学学报, 2002, (10) :1236-1240

[2]

位置敏感探测器的研究[D]. 黄梅珍.浙江大学. 2001

[3]

Low-distortion resistive anodes for two-dimensional position sensitive MCP systems .2 Lampton M,Carlson C W. Review of Scientific Instruments . 1979

[4]

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