CCD的非线性效应对改进型傅里叶变换轮廓术的影响

被引:7
作者
赵焕东
祝必进
李志能
机构
[1] 浙江大学!杭州
关键词
傅里叶变换轮廓术; CCD;
D O I
暂无
中图分类号
O438 [信息光学];
学科分类号
摘要
在傅里叶变换轮廓术中 ,由于 CCD探测器光电响应的非线性 ,将在测量中引入高次项 ,从而对相位的求解造成较大误差 ,通过理论的推导定性地解释了误差的来由 ,并用计算机进行了模拟计算 ,最后提出了减小误差的方法
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共 2 条
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