集成电路技术的发展

回顾了集成电路技术的发展历史,展望了集成电路未来的发展趋势。在微电子技术诞生和发展过程中具有一些里程碑式的发明,如:晶体管、集成电路、集成电路平面工艺、MOS器件、微处理器、光刻技术、铜互连工艺的发明等。集成电路技术一直并将继续以特征尺寸缩小、集成度提高的模式,按摩尔定律预测的指数增长率发展。随着器件特征尺寸逐渐缩小并逼近其物理极限,集成电路技术的发展将受到来自于材料、工艺和物理基础等方面的挑战,呈现出多维发展的趋势,这些挑战涉及了微电子学的理论基础。