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一种新型的表面粗糙度非接触测量系统
被引:7
作者:
余慧
谢铁邦
刘晓军
机构:
[1] 华中理工大学精密仪器系
来源:
关键词:
表面粗糙度光针焦点跟踪系统,音圈电机;
D O I:
暂无
中图分类号:
TH871.7, [];
学科分类号:
摘要:
本文介绍了一种新型的用于表面粗糙度非接触测量系统,该系统能用于软金属材料工程表面,纸张、木材、橡胶等非金属表面,光学元件、集成电路表面以及皮肤、动植物等表面的表面粗糙度测量。
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