硅微陀螺仪的误差分析

被引：13

作者：

施芹

裘安萍

苏岩

朱欣华

机构：

[1] 南京理工大学机械工程学院

来源：

传感技术学报 | 2006年 / 05期

关键词：

硅微陀螺仪; 加工误差; 不等弹性; 正交误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号;以静电理论为基础,分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号.分析结果表明,这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号.最后,介绍了一种减小正交误差的方法,并进行了仿真.

引用

页码：2182 / 2185

页数：4