酸分解高分子的新进展

被引：1

作者：

余尚先

顾江楠

机构：

[1] 北京师范大学应用化学研究所

[2] 北京师范大学应用化学研究所北京

[3] 北京

来源：

关键词：

酸分解高分子; 化学增幅抗蚀剂; 酸解机理; 光致抗蚀剂;

D O I：

10.14028/j.cnki.1003-3726.1990.04.003

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文综述了80年代酸分解高分子的进展,并对其作了详细分类。以其不同的结构特征阐明了它们的酸解机理。本文还对酸解高分子用于成像材料、特别是化学增幅抗蚀剂的前景作了展望。

引用

页码：205 / 212

页数：8

共 16 条

[1]

Steinmann,A. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1988

[2]

Osuch,C. E. et al. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1986

[3]

Yu Shangxian,et al. Journal of Photopolymer Science and Technology . 1990

[4]

Yu Shangxian,et al. Journal of Photopolymer Science and Technology . 1989

[5]

Ito,H. et al. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1987

[6]

Makromol. Delzenne,G. et al. Chemtracts . 1957

[7]

Photopolym. Tsuda,M. Science and Technology . 1990

[8]

TECHNOLOGY[P]. 英国专利:GB8602522D0,1986-04-16

[9]

Miller,R. D. et al. Journal of Imaging Science and Technology . 1978

[10]

Hallensleben,M. L. et al. Polymer Bulletin . 1978