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氮化铝陶瓷基片材料的新进展
被引:1
作者
:
周世平
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0
引用数:
0
h-index:
0
周世平
机构
:
来源
:
半导体情报
|
1989年
/ 05期
关键词
:
氮化铝陶瓷;
基片材料;
金属化;
制备工艺;
结构特征;
传导机理;
烧结体;
氮化物陶瓷;
AIN;
陶瓷材料;
粉末性能;
陶瓷基板;
陶瓷基片;
D O I
:
10.13250/j.cnki.wndz.1989.05.004
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
本文介绍了国外氮化铝陶瓷粉末的制备技术、典型烧结体的结构特征、热传导机理,着重阐述了氮化铝陶瓷的制备工艺及性能,同时也对该基片材料的应用现状及前景作了扼要的介绍。
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页数:8
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