金属氧化物气敏传感器(Ⅵ)

被引：4

作者：

徐毓龙

G.Heiland

机构：

[1] 西安电子科技大学!电子材料与元器件教研室

[2] 西安

[3] IPhysikalishesInstitutderRWTH!Aachen

[4] Germany

来源：

关键词：

气敏传感器; 金属氧化物; 交叉灵敏度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.3 [生物传感器、医学传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

<正>6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来,它引起了世界主要国

引用

页码：79 / 82

页数：4