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微机万工显测量系统
被引：2
作者：
蔺小军
冯雯岚
蔡春桥
机构：
[1] 西北工业大学
来源：
关键词：
万工显;
光栅;
软件细分;
D O I：
10.16080/j.issn1671-833x.2002.02.016
中图分类号：
TH741 [光学计量仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了一种微机型万工显测量系统 ,该系统应用软件细分技术提高了分辨率与测量精度 ,降低了万工显微机化的成本。应用微机进行数据处理 ,显著地提高了工作效率。
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