MEMS和导航级MEMS惯性传感器

被引：1

作者：

王忆锋

机构：

[1] 昆明物理研究所

来源：

飞航导弹 | 2008年 / 08期

关键词：

MEMS; 加速度计; 陀螺; 惯性传感器; 惯性测量装置; 惯性导航系统;

D O I：

10.16338/j.issn.1009-1319.2008.08.024

中图分类号：

TJ765 [制导与控制];

学科分类号：

081105 ;

摘要：

介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。

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