投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析

被引：13

作者：

张巍

巩岩

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

来源：

光学学报 | 2011年 / 31卷 / 10期

关键词：

衍射; 衍射光学元件; 光束整形; 矢量角谱; 偏振;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN405 [制造工艺]; O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

080903 ; 1401 ; 070207 ; 0803 ;

摘要：

使用衍射光学元件(DOE)作为投影光刻照明系统实现离轴照明(OAI)的光束整形匀光器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制OAI光束的形状及光强分布。在矢量角谱传输方法的基础上,建立了投影光刻用DOE的矢量分析模型,并对标量方法设计的DOE在偏振照明情况下的匀光与整形性能进行了分析。分析结果表明DOE在大角度衍射、单元尺寸与工作波长相近条件下,一般标量近似条件已不满足,仍采用标量迭代方法进行DOE设计,则计算结果存在较大误差。

引用

页码：33 / 38

页数：6

共 7 条

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