三维一体化超微定位系统的研制

被引：2

作者：

胡小唐

禹国强

刘安伟

杨勇

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

关键词：

柔性铰链；压电陶瓷；激光干涉仪；三维一体化超微定位台;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703.8 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

本文设计并研制了以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构，并以激光干涉仪微位移检测装置和微机控制系统构成了数字闭环控制的三维一体化超微定位系统。

引用

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