共 1 条
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高电压绝缘.[M].朱德恒;严 璋主编;.清华大学出版社.1992,
新颖的激光清洗技术
被引：11
作者：
王豫
陆冬生
安承武
机构：
[1] 华中理工大学激光技术国家重点实验室
来源：
关键词：
激光应用，污染物，清洗技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN249 [激光的应用];
学科分类号：
080904 [电磁场与微波技术];
摘要：
利用激光来清除各种器件及材料表面上吸附的各种微粒及污染物，是近年来激光技术应用的一个迅速发展的方向．文章概述了激光清洗技术的最新发展，介绍了激光清洗技术的基本工艺过程及物理机制，讨论了其应用及发展方向等有关问题．
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页数：6
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