国外微电子器件制造中的成品率管理方法综述

被引：2

作者：

彭苏娥

机构：

[1] 信息产业部电子第五研究所!广东广州

来源：

电子产品可靠性与环境试验 | 2000年 / 03期

关键词：

微电子; 成品率; 测试结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN406 [可靠性及例行试验];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

综述了国外微电子器件成品率提高的三个阶段和成品率损失的原因分析 ,介绍了国外成品率预测模型的研究及利用测试结构对影响成品率的缺陷进行监测和查找的情况 ,进而讨论了微电子器件制造中的成品率管理方法。

引用

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页数：6

共 5 条

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