多光束并行共焦探测系统特性的研究

被引：6

作者：

王永红

余晓芬

俞建卫

黄其圣

徐科军

机构：

[1] 合肥工业大学仪器仪表学院

[2] 合肥工业大学自动化研究所安徽合肥

[3] 安徽合肥

来源：

关键词：

计量学; 共焦显微镜; 并行检测; 分辨率; 微透镜阵列;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

分析了影响多光束并行共焦三维探测系统特性的各种因素,并与传统的扫描共焦显微术进行了对比分析,给出并行共焦系统横向和纵向分辨率的判定依据和测量范围指标,讨论改善系统性能指标的各项关键技术与途径。介绍了研制的多光束并行共焦检测实验系统的构成,并给出初步实验结果。

引用

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