MEMS高g值加速度计力学分析

被引：3

作者：

李仁锋

文贵印

程永生

机构：

[1] 中国工程物理研究院电子工程研究所

[2] 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳

[3] 四川绵阳

来源：

关键词：

微机电系统; 加速度计; 有限元法; 刚度矩阵算法;

D O I：

10.13873/j.1000-97872005.07.013

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作。

引用

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