计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用

被引：1

作者：

方容川

常超

廖源

叶祉渊

薛剑耿

王冠中

马玉蓉

尚乃贵

牛晓滨

王代冕

吴气虹

揭建胜

机构：

[1] 中国科学技术大学物理系

[2] 中国科学技术大学物理系合肥

[3] 合肥

来源：

关键词：

编程控制; 计算机; 金刚石膜; 金刚石厚膜; CVD;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

<正> 在863“九五”计划期间,我们研制成功“计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良。1 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统图1(见封1)为我们研制的计算机编程控制CVD金刚石

引用

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