极坐标激光直接写入系统研究

被引：4

作者：

周光亚，侯西云，许乔，叶钧

机构：

[1] 浙江大学高技术现代光学中心

来源：

关键词：

极坐标; 激光直接写入; 光刻物镜; 电子束曝光机; 摄影设备;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.095

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

本文对极坐标激光直接写入系统进行了初步的研究，介绍了它的原理及结构，该系统可用于二元光学掩模的制作，具有加工孔径大、线宽小的特点，特别适用于圆对称的图形。加工此类图形在制作时间、成本、元件质量等方面都优于电子束曝光机。

引用

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