基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法

被引：13

作者：

闻小龙 ^{[1
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彭春荣 ^{[1
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方东明 ^{[1
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杨鹏飞 ^{[3
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陈博 ^{[1
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夏善红 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所

[2] 中国科学院大学

[3] 北京大学微电子学研究院

来源：

电子与信息学报 | 2014年 / 36卷 / 10期

关键词：

MEMS电场传感器; 3维电场; 耦合干扰; 3维标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器]; TM937 [电磁场强度（信号强度）测量及仪表];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

为了准确测量空间3维电场,解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题,该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路,该文提出采用3个不共线的平面分布电场敏感单元,利用电场耦合灵敏度矩阵实现电场3个正交分量的准确解调。采用3个基于微机电系统(MEMS)技术的振动微结构电场敏感单元成功制作出3维电场传感器样机。该文设计出一种可实现任意角度旋转的新的传感器夹具,并构建了3维电场测试标定系统。实验表明,该文研制的3维电场传感器可实现电场3个分量的准确测量,结构简单,消除了3个电场分量之间的耦合干扰,提高了测量精度。

引用

页码：2504 / 2508

页数：5