把“四探针测量金属薄膜电阻率”引入普通物理实验

被引：25

作者：

邱宏

吴平

王凤平

潘礼庆

黄筱玲

田跃

机构：

[1] 北京科技大学应用科学学院物理系

[2] 北京科技大学应用科学学院物理系北京　

[3] 北京　

来源：

关键词：

四探针; 金属薄膜电阻率; 普通物理实验;

D O I：

10.16854/j.cnki.1000-0712.2004.05.019

中图分类号：

O4-33 [物理学实验方法与设备];

学科分类号：

摘要：

四探针测量金属薄膜电阻率是当今微电子技术领域中常用的方法.本文介绍了如何把"四探针测量金属薄膜电阻率"的实验引入到普通物理实验教学中,以及在实验内容的编排上如何培养学生发现问题和解决问题的能力等方面的具体做法.

引用

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页数：4