AMC在洁净室中的监测与控制

近年来科学技术的不断发展,半导体工艺得以全面升级发展,使得洁净室控制质量的要求越来越苛刻。由于AMC在生产进程中针对不同制程均会产生不良的影响,使得成品质量受到严重的影响,如何针对AMC进行监测与控制就成为当前亟需解决的重要课题。