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大气压辉光放电研究现状及应用前景
被引：10
作者：
张锐
刘鹏
詹如娟
机构：
[1] 中国科学技术大学近代物理系
来源：
关键词：
大气压辉光放电;
均匀性;
低温等离子体;
D O I：
暂无
中图分类号：
O461 [气体放电（气体导电）];
学科分类号：
摘要：
大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统 ,正日益受到人们重视和研究 .文章综述了大气压辉光放电的研究进展 ,包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法 ,还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性、污染物质的消毒去污等方面的应用前景
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页码：430 / 434
页数：5
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