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铁磁金属薄膜磁阻传感器的研制
被引：7
作者：
姚学标，郑万鎏，刘宗英，王烨
机构：
[1] 安徽大学物理系，合肥电子部４３所
来源：
关键词：
铁磁金属薄膜，离子溅射，磁阻传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
本文介绍用离子溅射技术和微细加工技术制备磁性薄膜磁阻传感器的方法及初步结果，并对有关问题进行讨论。
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