激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术

被引：12

作者：

王金林

陈明

韩荣久

刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

裴舒

机构：

[1] 西安飞行自动控制研究所

[2] 西北工业大学

[3] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

来源：

关键词：

激光陀螺; 浮法抛光; 相移干涉; 原子力显微镜; 分形;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.5 [];

学科分类号：

摘要：

讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光学表面的分形特征。

引用

页码：5 / 9

页数：5