数字微镜器件(DMD)在相干光照明下的空间光调制特性

被引:13
作者
王巍
巩马理
机构
[1] 清华大学精密仪器系激光与光子研究中心
关键词
数字微镜器件(DMD); 空间光调制特性; 二维光栅结构; 衍射;
D O I
暂无
中图分类号
TN42 [微模组件]; TN761 [调制技术与调制器];
学科分类号
摘要
分析了DMD的微结构和工作原理;引入占空比因子,通过空间分区建立了较为完善的DMD空间光调制理论模型;根据该模型预测了经DMD调制后的频谱中,存在2个互补图像区域;沿这2个互补区域的对称轴方向各级衍射不含图像调制信息;设计了相干光照明下DMD空间光调制特性实验,理论与实验符合得很好.
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