共 1 条
[1]
Micromachined Beam-diaphragm Structure Improves Performances of Pressure Transducer. Minhang Bao,Lianzhong Yu,Yan Wang. Sensors and Actuators . 1990
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
被引：1
作者：
鲍敏杭
沈绍群
普琦
机构：
[1] 复旦大学电子工程系传感器室
[2] 复旦大学电子工程系传感器室 上海 教授
[3] 上海
来源：
关键词：
梁膜结构;
微压;
压力传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。
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