未找到相关数据
基于透射谱的GaN薄膜厚度测量
被引：23
作者：
张进城
郝跃
李培咸
范隆
冯倩
机构：
[1] 西安电子科技大学微电子研究所
来源：
关键词：
GaN;
透射谱;
厚度测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
O4-34 [物理测量];
学科分类号：
摘要：
通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析 ,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响 ,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法 .实际应用表明 ,该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法
引用
收藏
页码：1243 / 1246
页数：4
相关论文