用刀口——朗奇光栅法检验大型光学镜面面形

被引：6

作者：

伍凡

陈燕明

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 西安工学院实习生

来源：

光学工程 | 1988年 / 01期

关键词：

朗奇光栅; 镜面面形; 刀口; 阴影图; 离焦; 光学;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

本文介绍了用刀口仪代替朗奇光栅用于大型光学镜面面形检验的新方法。论述了测量原理、计算方法,给出了实验结果。该方法可克服刀口、朗奇光栅法各自的缺点,使用灵活、方便、灵敏度高。尤其是在偏离量较大的非球面加工检验中,该方法具有广泛的优越性。目前,我们已用此方法完成了φ450抛物面、φ670φ300球面的加工与检验。

引用

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