负压吸附式环形气垫导轨的计算方法

被引：7

作者：

张星祥

任建岳

不详

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春

[3] 吉林长春

来源：

光学精密工程 | 2003年 / 05期

关键词：

负压吸附导轨; 承载能力; 刚度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703.4 [];

学科分类号：

摘要：

根据负压吸附导轨的工作原理,利用流体力学的性质,系统地建立了导轨的承载能力和气膜厚度的数学模型,得出4个结构参数、气源气压与承载能力和气膜厚度的关系。最后通过实验证明了该导轨气膜厚度在1～3μm时,刚度稳定,最大变化量约为10%,且计算刚度与试验刚度的误差小于12%,能够适用于高精密器械的移动元件或承载元件。

引用

页码：481 / 486

页数：6

共 9 条

[1] 闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二) [J].

陶家生 .

光学精密工程 , 1997, (01) :56-62

[2]

MATLAB 6.1实用指南[M]. 电子工业出版社 , 苏金明, 2002

[3]

MATLAB数据处理与应用[M]. 国防工业出版社 , 李强, 2001

[4]

精密机械设计[M]. 机械工业出版社 , 庞振基, 2000

[5]

工程流体力学[M]. 机械工业出版社 , 李诗久主编, 1990

[6]

气体润滑技术[M]. 东南大学出版社 , 党根茂主编, 1990

[7]

机械设计优化方法及应用[M]. 高等教育出版社 , 周济编, 1989

[8]

工程流体力学[M]. 机械工业出版社 , 盛敬超编, 1988

[9]

数值方法[M]. 浙江科学技术出版社 , 易大义, 1984

← 1 →