白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法及实现

被引：4

作者：

刘泊

郑伟

强锡富

蒋剑峰

机构：

[1] 哈尔滨理工大学仪器仪表学院!黑龙江哈尔滨，

[2] 哈尔滨工业大学计算机与电气工程学院!黑龙江哈尔滨，

来源：

关键词：

白光; 相移干涉法; 表面三维轮廓; 三帧法; 五帧法;

D O I：

10.15938/j.jhust.1999.03.025

中图分类号：

TH741.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

依据白光干涉理论，利用相移干涉法，研究了三维表面轮廓测量的原理与系统构成，讨论了白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法和数据处理的实现过程．实验结果表明，测量结果和数据处理都可精确地满足被测工件的要求．

引用

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