不同衬底上的ZnO薄膜紫外光致发光

被引：47

作者：

张德恒

王卿璞

薛忠营

机构：

[1] 山东大学物理与微电子学院

[2] 山东大学物理与微电子学院济南

[3] 济南

来源：

物理学报 | 2003年 / 06期

关键词：

ZnO薄膜; 射频磁控溅射; 紫外发光; 退火;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

用射频磁控溅射法在蓝宝石、硅和石英衬底上沉积出具有好的择优取向的多晶ZnO薄膜 .在 2 70nm波长的光激发下室温下可观察到显著的紫外光发射 (波长为 3 5 6nm)和较弱的蓝光发射 (波长为 44 6nm) .经高温退火后薄膜的结晶质量显著提高 ,在蓝宝石、石英衬底上沉积的薄膜 ,其积分发光强度分别增加了 7倍和 14倍 .而硅衬底上的膜发光强度增强不太显著 .紫外光发射源于电子的带间跃迁 ,而蓝光发射是由电子从氧空位浅施主能级到价带顶的跃迁引起的

引用

页码：1484 / 1487

页数：4