反射镜用Kelvin支承定位精度研究

被引：3

作者：

吴文凯

陈晓娟

符春渝

徐元利

机构：

[1] 中国科学技术大学精密机械及精密仪器系

[2] 中国工程物理研究院结构力学研究所

[3] 中国工程物理研究院结构力学研究所合肥

[4] 绵阳

来源：

机械设计与研究 | 2002年 / 06期

关键词：

Kelvin支承; 精确约束; 定位精度; 客观散斑法;

D O I：

10.13952/j.cnki.jofmdr.2002.06.016

中图分类号：

TL631 [磁约束装置];

学科分类号：

082701 ;

摘要：

针对ICF装置中大口径反射镜等光学元件快速更换和精确定位的要求 ,采用精确约束理论设计了Kelvin运动支承 ,建立了几何参数矩阵对结构的定位精度进行了理论计算 ,分析了产生误差的原因并对结构进行了改进 ,采用激光客观散斑法对样件的定位精度进行了测试 ,试验数据统计表明结构重复定位精度 (± 3σ) ;平移± 6 .2 μm ,转角± 2 .3″。

引用

页码：50 / 52+8 +8-9

页数：5