溶胶-凝胶法制备的（C6H5）2SiO·MO2（M=Ti、Zr）薄膜的抗侵蚀性能

用溶胶-凝胶法制备了70（C6H5）,SiO·30TiO2（以下简称I）和75（C6H5）2SiO·25ZrO2（以下简称Ⅱ）薄膜,通过溶液侵蚀法和调温调湿箱中风化试验法研究了它们的抗酸、抗碱、抗水和抗潮湿空气侵蚀性能。用薄膜的失重测量、溶液的化学分析、红外光谱和X射线光电子谱（XPS）所得的数据评价和比较了薄膜的抗侵蚀性能随薄膜的化学组成、热处理温度和侵蚀介质种类的变化。经150℃热处理的薄膜的抗酸和抗水性能与载玻片玻璃相当,但抗碱性能則比后者差得多.用（Ⅰ）制成磷酸盐玻璃的保护膜层,大大改善了后者的化学稳定性。受到侵蚀作用的薄膜的X射线光电子能谱分析结果解释了薄膜在酸中和水中的不同侵蚀行为。