激光衍射测微仪的研究

被引：8

作者：

刘丽娟

赵洪

雷旭

吕月兰

机构：

[1] 哈尔滨理工大学

来源：

关键词：

激光衍射; 测微仪; 测微器; 透镜; 线径; 后焦面; 测量精度; 哈尔滨理工大学; 哈理工大学; 微细线; 电线; 视频信号; 周期数; 矩孔; 光场分布; 微分电路; 逻辑电路; 信号波形; 噪声模型; 傅里叶光学; 物理光学; 衍射强度;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1998.06.015

中图分类号：

TH744.5 [];

学科分类号：

摘要：

＠刘丽娟＠赵洪＠雷旭＠吕月兰￥哈尔滨理工大学１引言利用激光衍射原理测线径的方法很多，其中有些方法已成功地应用于生产实践中。１９８８年Ｊ．Ｆ．Ｆａｒｄｅａｕ系统地介绍了这种仪器在线材工业中的应用情况，精度可达０．２％〔１〕，后来国外的一些厂家相继推出了此类测...

引用

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