基于氮化镓GaN硅衬底的LED

被引:5
作者
陈振
机构
关键词
蓝宝石; GaN基; LED; 硅衬底;
D O I
10.19339/j.issn.1674-2583.2015.04.010
中图分类号
TN312.8 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
蓝宝石虽然稳坐衬底材料的龙头地位,但随着产业的不断发展,竞争日趋激烈,基于蓝宝石衬底的技术发展变缓,再加上其成本高昂、专利壁垒等问题,众多专家与工程师开始寻求性价比更高的解决方案:不同的衬底材料,硅衬底被业界寄予了很高的厚望。
引用
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