飞秒激光多脉冲烧蚀研究进展

被引：5

作者：

季忠刚

邓蕴沛

冷雨欣

李儒新

徐至展

机构：

[1] 华东师范大学物理系

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所

[3] 中国科学院上海光学精密机械研究所上海中国科学院上海光学精密机械研究所

[4] 上海

来源：

激光与光电子学进展 | 2003年 / 09期

关键词：

微加工; 飞秒激光; 多脉冲; 累积效应;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

由于飞秒脉冲在烧蚀固体材料时的独特机制,在材料激光微加工方面有其突出的优点,表现出极大的应用潜力。本文主要就国内外多脉冲飞秒烧蚀研究的进展作一简介,包括多脉冲烧蚀的特点、现有的烧蚀机制分析及其应用前景等。

引用

页码：14 / 20

页数：7

共 15 条

[1] 飞秒激光烧蚀研究进展 [J].

倪晓昌 ;

王清月 .

激光与光电子学进展, 2002, (12) :4-9

[2] 激光辐照下光学元件表面波纹现象研究 [J].

王伟平 ;

吕百达 ;

刘仓理 .

激光与光电子学进展, 2002, (06) :13-19

[3] 激光切割在工业上应用的现状 [J].

唐元冀 .

激光与光电子学进展, 2002, (01) :53-56

[4]

Femtosecond laser damage of a high reflecting mirror[J] . J. Bonse,S. Baudach,W. Kautek,E. Welsch,J. Krüger.Thin Solid Films . 2002 (1)

[5]

Femtosecond pulse laser ablation of anodic oxide coatings on aluminium alloys with on-line acoustic observation[J] . J. Krüger,P. Meja,M. Autric,W. Kautek.Applied Surface Science . 2002 (1)

[6]

Ultra short laser pulse induced charged particle emission from wide bandgap crystals[J] . M. Henyk,D. Wolfframm,J. Reif.Applied Surface Science . 2000 (1)

[7]

Coupling effects of the number of pulses, pulse repetition rate and fluence during laser PMMA ablation[J] . Z.Q Liu,Y Feng,X.-S Yi.Applied Surface Science . 2000 (4)

[8]

Ultrashort pulse laser ablation of polycarbonate and polymethylmethacrylate[J] . S Baudach,J Bonse,J Krüger,W Kautek.Applied Surface Science . 2000

[9]

Single and multiple ultrashort laser pulse ablation threshold of Al 2 O 3 (corundum) at different etch phases[J] . D. Ashkenasi,R. Stoian,A. Rosenfeld.Applied Surface Science . 2000

[10]

Laser-induced ion emission from dielectrics[J] . M Henyk,R Mitzner,D Wolfframm,J Reif.Applied Surface Science . 2000

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