微加速度计粘附问题的研究及应用

被引：6

作者：

俞必强

翁海珊

李疆

机构：

[1] 北京科技大学机械工程学院

来源：

关键词：

粘附; 剥离数; 微加速度计;

D O I：

10.13873/j.1000-97872006.06.014

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

粘附是影响微机电系统(MEMS)可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品——微加速度计的粘附问题进行了研究,给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式,并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中,分析了其对系统结构设计产生的影响。

引用

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