共 3 条
双电测组合法测试半导体电阻率的研究
被引：19
作者：
宿昌厚
鲁效明
机构：
[1] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
[2] 中国计量科学研究院集成电路室 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
双电测组合四探针法;
方块电阻;
电阻率;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.07 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
对双电测组合四探针法测试方块电阻 (Rs)和体电阻率 ( ρ)进行了研究 ,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点 :测量结果与探针间距无关 ,可使用不等距探针头 ;具有自动修正边界影响的功能 ,不必寻找修正因子 ;不移动探针头即可得知均匀性 .推导出用于体电阻率时的厚度函数 .论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理 ,给出了Rs 和 ρ的计算公式 .
引用
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页码：298 / 306
页数：9
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