超光滑光学表面加工技术

现代科学技术的发展，在许多领域中提出了加工超光滑表面的要求。这种表面不仅要具备较高的面形精度和极低的表面粗糙度，同时要具有完整的表面晶格排布，消除加工损伤层。近年来国际出现了不少成功的超光滑表面加工技术，可以实现表面粗糙度小于１ｎｍ，面形精度优于３０ｎｍ。本文介绍了超光滑表面的主要应用领域；从去除机理的角度讨论了ＢＦＰ抛光、Ｔｅｆｌｏｎ抛光、离子束加工、ＰＡＣＥ加工、浮法抛光、延展性磨削等六种有代表性的超光滑表面加工技术；并对国内情况作了简单分析。