大口径高精度方形平面光学元部件的研制

被引：7

作者：

刘民才

胡晓阳

李壮声

机构：

[1] 成都精密光学工程研究中心

[2] 成都精密光学工程研究中心四川成都

[3] 四川成都

来源：

光学技术 | 2001年 / 06期

关键词：

环行浮动抛光技术; 工艺实验; 透射波前; 反射波前;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.06.017

中图分类号：

TH706 [制造工艺];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径。介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块 32 0mm× 32 0mm× 35mm和 32 0mm× 32 0mm× 48mmUBK7材料的工艺实验样品。加工结果是 ,透射元件获得了镀膜后双次透射波前 0 2 93λ(P V ,λ =0 632 8um )和反射元部件的反射波前 0 2 2λ(P V ,λ =0 632 8um )的结果。

引用

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