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低温等离子体及其在材料表面改性中的应用
被引：3
作者：
梅云霞
唐晓亮
机构：
[1] 上海虹口高级中学
[2] 东华大学理学院
来源：
关键词：
电子温度;
刻蚀;
辉光放电;
蚀刻;
水蚀;
微波放电;
等离子体活化;
介质阻挡放电;
表面改性;
表面性质;
化学沉积;
化学气相沉积;
化学汽相沉积;
单体接枝;
等离子体物理;
电晕放电;
电晕;
D O I：
10.13405/j.cnki.xdwz.2004.03.018
中图分类号：
O539 [等离子体物理的应用];
学科分类号：
摘要：
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页数：4
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