波长扫描法布里-珀罗干涉仪的优化设计

分析了可用于绝对距离测量的波长扫描法布里－珀罗干涉仪腔内多光束干涉对输出信号的影响， 及由此产生的相位测量误差。研究表明， 通过选择合适的腔端面反射率和参考腔长度可以减小相位测量误差。优化选择的腔面反射率为０．１０～０．１５， 参考腔长为０．９５ ｍ ｍ ， 在１ ｍ ｍ 范围内系统可达到０．０５ μｍ 的测距精度。