用大像元CMOS线阵光电探测器和插值法测量激光光斑中心位置

被引：5

作者：

孟贤男

曾理江

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室

[2] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京

[3] 北京

来源：

关键词：

激光准直; 线阵光电探测器; 插值法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

探讨了用大像元 (0 .8mm)CMOS线阵光电探测器确定激光光斑中心位置的插值方法 ,并对插值误差进行了理论分析和实验验证。采用线性插值可使测量分辨率提高 10倍以上。通过实测两种激光准直中光斑中心位置的漂移 ,验证了该探测器及插值方法的实用性。

引用

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页数：4

共 5 条

[1]

Effectofatmosphericturbulenceonlaserbeampropagation. GuoZhenhua,XuDesheng,WangShipengetal. LaserTechnology . 1992

[2]

UsinglineararrayCCDforlongdistancediffractionalignment measurement. HaoQun,LiDacheng,CaoMang. OpticalTechnology . 1999

[3]

100mdiffraction freealignmentbeam. WangHaitao,YinChunyong,WangDongsheng. OpticalTechnology . 1999

[4]

Applicationofinterpolationmethodinlaseralignment[D]. WangRong. . 1984

[5]

StraightnessmeasurementusinglaserdiodeandCCDcamera. HaoQun,ZhaoYang,LiDacheng etal. ChineseJ .Lasers . 1999